作者：汤扬华,叶雄英,周兆英 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2001年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2001020320 DOC编号：DOCZGJX2001020329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上，介绍了用于医疗的微型机电系统，包括微型传感器、微流量系统、微仪器，以及其它MEMS系统。最后简介了国内在这方面的发展状况。

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