作者:韩建保,马岳峰,廖波 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2001年第09期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2001090110 DOC编号:DOCCGQJ2001090119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《场发射压力传感器力敏感膜的形变特性分析》PDF+DOC2000年第04期 刘金华,杨军,张敬平,林鸿溢 《压力传感器灵敏度特性的研究》PDF+DOC2005年第06期 周民 《压力传感器灵敏度特性的研究》PDF+DOC2003年第05期 李戎 《纳米Si薄膜场发射压力传感器研究》PDF+DOC 廖波,韩建保,林鸿溢,王越 《SOI压力传感器封装工艺研究》PDF+DOC2006年第06期 关荣锋,赵军良,刘树杰 《纺织结构压力及应变传感器性能优化》PDF+DOC2020年第01期 刘宁娟,肖珊,程琼,王双,刘玮 《光纤传感器检测呼吸压》PDF+DOC1998年第03期 骆晓森,刘建刚,刘红旗,陈亚蕾,陈进贵,薛龙增,潘百年,赵宏伟 《带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器》PDF+DOC1994年第03期 袁凤 《小量程压力传感器圆形平膜片的设计计算——兼和裴锡安同志商榷》PDF+DOC1985年第02期 汪洋 《一种半岛型结构谐振梁压力传感器》PDF+DOC2003年第Z1期 陈德勇,崔大付,高晓童,范兆岩,王利
  • 在一种新的基于真空二极管原理的场发射压力传感器中 ,阴极发射尖锥体和敏感薄膜制备于同一硅片上 ,从而简化了传感器的封装工艺 ,但因此可能导致传感器灵敏度的减小。利用有限元仿真技术 ,计算了在外部压力作用下 ,几何形状比较复杂的带尖锥体敏感薄膜的横向挠度形变特性。计算结果表明 ,与不带尖锥体的敏感薄膜相比较 ,带尖锥体敏感薄膜在额定外部静压力作用下的最大横向挠度的减小量小于 0 .4% ,因此对传感器灵敏度的影响可以忽略不计

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