作者：陈德勇,崔大付,高晓童,范兆岩,王利 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11370 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC2000年第04期 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿 《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC1999年第01期 樊尚春,刘广玉 《压阻式压力传感器灵敏度特性分析》PDF+DOC1996年第04期 沈桂芬,王正荣 《具有500倍保护的单晶硅压力传感器》PDF+DOC1990年第02期 吴原 《剪切应力对压阻传感器灵敏度的影响》PDF+DOC1986年第05期 王言,鲍敏杭,晋琦 《用双桥法减小压阻型传感器的温度漂移》PDF+DOC2005年第06期 鲁百佐,刘志存 《微机械氮化硅梁谐振式压力传感器》PDF+DOC2001年第04期 陈德勇,崔大付,于中尧,王利 《一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造》PDF+DOC2009年第04期 尤彩红,张文栋,王文襄 《硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真》PDF+DOC2008年第07期 刘勇,叶湘滨,熊飞丽,张文娜 《提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究》PDF+DOC2014年第03期 张慧君,张立喆,段玉培,陈喜

    • 提出了一种新型结构压力传感器 ，器件由上下两硅片键合而成 ，上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ，下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ，器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度

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