作者：向勇,李玲霞,胡明,谢道华 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2000年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2000050010 DOC编号：DOCBDTJ2000050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论了SmartSensor与MEMS的全新概念。结合微机械加工技术的发展，概述了现代传感器技术智能化、功能集成化的新趋势，及其对现代微电子、微型电子机械乃至整个信息技术领域的深远影响。

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