作者:席占稳 单位:南京理工大学 出版:《南京理工大学学报》2000年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFNJLG2000030210 DOC编号:DOCNJLG2000030219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 微机电系统 (MEMS)将对引信的发展提供其它技术不可比拟的技术支撑。该文论述了基于MEMS引信固态安全系统的概念及作用原理 ;针对可应用于引信安全系统的硅微压阻式加速度传感器 ,用有限元法计算了不同厚度悬臂梁结构在1 0 0 0 0 g加速度作用下的应力分布、固有频率 ,设计了力敏电阻电桥结构 ,并计算了传感器的灵敏度。最后介绍了压阻式悬臂梁结构的加速度传感器制作工艺。

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