作者:唐世洪,张克梅,邓永和,谭子尤 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2003年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2003010200 DOC编号:DOCCGJS2003010209 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅加速度传感器芯片的优化设计研究》PDF+DOC2003年第05期 邓永和,李玉琮,许迈昌 《新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的设计》PDF+DOC2003年第08期 邓永和 《低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析》PDF+DOC1999年第01期 朱目成,夏季,马德毅,刘强,孟念湘,徐培君 《微机械加工技术在传感器制作中的应用》PDF+DOC1998年第02期 张巧云,吕志清 《传感器最新进展和技术动向》PDF+DOC1996年第05期 李科杰 《用于汽车的硅压力和加速度传感器》PDF+DOC1994年第01期 张传忠 《半导体动态传感器》PDF+DOC1989年第05期 杜宗华 《高过载低量程测试传感器的选择比较》PDF+DOC2003年第09期 翟成瑞,张文栋 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC2001年第01期 李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 《机载传感器发展与展望》PDF+DOC2006年第03期 李京生
  • 介绍了最新优化设计的双 E型加速度传感器硅芯片结构和工艺的实现。通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度 ,即可制得不同量程的双 E型敏感硅芯片和加速度传感器。

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