作者：张兴 单位：中国电子学会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFELEW2000030010 DOC编号：DOCELEW2000030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 何谓微机电系统(MEMS) 为了说明什么是微机电系统(缩写为MEMS)，首先来解释一下什么是机电系统。20多年以前，汽车还是一个单纯的机械系统，后来随着电子技术的发展，汽车的很多零部件(例如电子点火器、燃油电子喷射装置、电控自动变速箱等)都依靠电子系统进行控制，因此现在的汽车实际上就是一个大的机械电子系统。而微机电系统则是指微小的机械电子系统，例如比一粒花生米还要小的飞机或汽车，是由很多只有几百微米大小的零件组成的，而这些零件是用微电子等微细加工技术制备出来的，既包含机械部件又包含电子部件，因此我们称这类微小的机械电子系统为微机电系统。

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