作者：张贵钦 单位：大连组合机床研究所:中国机械工程学会生产工程分会 出版：《组合机床与自动化加工技术》2002年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZHJC2002070000 DOC编号：DOCZHJC2002070009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ，分析了存在问题 ，指出了今后的研究重点 ，并对其未来发展作了展望 ，提出了相应的发展策略。

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