作者：梁静秋 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》2000年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX2000080000 DOC编号：DOCGJDX2000080009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械的基本特征、关键技术及应用前景》PDF+DOC2001年第01期 张芳,林良明 《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC2000年第02期 李荣,罗庆生 《微型机电系统》PDF+DOC2000年第Z1期 周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹 《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《微机械的制造、应用和发展》PDF+DOC1994年第03期 谢国章 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《MEMS发展应用现状》PDF+DOC2011年第22期 王多 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC2007年第03期 侯亚丽,李长河,蔡光起 《基于传感器标定系统的微陀螺频率特性检测方法》PDF+DOC2006年第06期 刘显学,苏伟

    • 本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系林及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。

    📙 相关资料

    1. 《微机械的基本特征、关键技术及应用前景》PDF+DOC 本文综述了微机械的发展、分类及基本特征。介绍了研究微机械所涉及的关键技术 ，并预测了微机械广泛的应用前景。...
    2. 《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC 介绍了微型机械的基本概念和特点，综述了微型机械的加工技术和应用途径，讨论了微型机械的发展方向和趋势。...
    3. 《微型机电系统》PDF+DOC 分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 ，正是我国发展该领域的好时机...
    4. 《传感技术的研究现状》PDF+DOC 本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状。传感器在集成化、系统化方面的研究取得了明显成果，基础研究得到了加强。微机械电子系统正日益受到重视。...
    5. 《微机械的制造、应用和发展》PDF+DOC 概述微机械的加工技术包括微机机械工业加工所用材料、腐蚀加工、淀积加工，键合加工的现状；介绍微机械的应用领域及其对高新技术发展的影响；指出微传感器、微执行器、微机器人与微系统是微机械技术发展的主要方向。...
    6. 《微机电系统技术进展》PDF+DOC 概述了微机电系统(MEMS)的发展史，综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术，微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统，介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用。...
    7. 《关于微机电系统研究》PDF+DOC 微机电系统是面向 2 1世纪的新科技。由于目前尚处于开创时期 ，人们对它还缺乏统一的全面认识。试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析。在此基础上 ，提出和论述了未来发展中的几个关键问题...
    8. 《MEMS发展应用现状》PDF+DOC 随着硅材料微制造技术的迅速发展，早在20实际70年代末期斯坦福大学就开发出硅微加工的气象色谱仪，随后人们又提出了制造微传感器、微处理器的构。...
    9. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......
    10. 《基于传感器标定系统的微陀螺频率特性检测方法》PDF+DOC 本文设计了一种利用丹麦B&amp；K公司的9610型振动传感器标定系统对叉指式微陀螺的频率特性进行检测的方法；在分析微陀螺的受迫振动特性的基础上，阐述了频率特性的检测方法；设计了检测电路。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。