作者：周浩敏,邢维巍 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》1999年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS1999030060 DOC编号：DOCIKJS1999030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是“微米”级，并且所要处理的信号最大仅为微伏量级，信噪比极低，因此在微传感器的开环测试中需要采取新的技术和测试方法。本文主要讨论了硅谐振压力微传感器开环测试中的自动测试以及同频干扰问题。

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