《硅谐振梁式微传感器同频干扰的研究》PDF+DOC

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2. 《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC 本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２&#215；２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力，膜片的上表面架设有６００&#215；５０&#215；５μｍ３两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量。针对这种谐振......
3. 《硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术》PDF+DOC 介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。...
4. 《硅谐振式压力微传感器闭环系统》PDF+DOC 硅谐振压力微传感器在自激振荡回路中采取电阻热激励、电阻拾振时得到的信号 ，由于有用信号本身的量级小 ，因而含有严重的同频干扰信号 (耦合激励信号 ) ，信噪比SNR (SignalNoiseRatio)仅为 1 0 -...
5. 《一种新型的压力微传感器》PDF+DOC 介绍一种新型的压力传感器 ，即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性、测量精度、体积、重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点。实验结果表明 ，其测量精度可以达到 0 .0 2 1%F .S。...
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10. 《谐振式低速气体流速微传感器的理论建模》PDF+DOC 首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器，用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系，给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系，推导这种微传感器在测量低雷诺数气体流动时的理论模型，得到气体流速与谐振子固有频率偏移的关系。使用有限元分......