《硅微电容式加速度传感器结构设计》PDF+DOC

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4. 《电容传感器设计中的误差修正》PDF+DOC 根据磁场理论，分析了电容传感器中电容非理想化引起的测量误差，指出了消除该误差的方法，并根据该方法进行了具体的设计计算。最后，给出了由计算机计算的具有实际意义的结果。...
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8. 《变面积结构微机械电容式加速度传感器》PDF+DOC 文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构，由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下，质量块呈平行于衬底水平移动，引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化，可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应......
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