作者：李恒灿,李勇 单位：兰州理工大学 出版：《兰州理工大学学报》2011年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGSGY2011030120 DOC编号：DOCGSGY2011030129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种基于滑膜阻尼的差动电容加速度传感器.该加速度传感器利用圆柱形差分电容极板间重合面积的改变来检测加速度的大小，保证输出电压与加速度之间的线性度.对加速度传感器进行结构设计和分析，介绍加速度传感器的工艺流程.测试结果表明，该加速度传感器的灵敏度较好，谐振频率与理论计算相吻合。

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