作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1998年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1998030080 DOC编号：DOCGJDX1998030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对于传感器来说，没有一种比汽车的环境条件更为恶劣的，在汽车中所遇到的是尘埃脏物，不同的液体、振动、以及极端的温度(零下40℃到零上85℃.发动机罩里的温度甚至达到零上125℃)。在这样的条件下，要保证传感器的使用寿命达到10年以上。电子模块必须能应付变化的供电电压，承受各种不同的干扰脉冲。大批量的件数生产必须保持相同的质量.自然还要考虑到最低的价格。适合最低价格传感器的微机械目前有一种新技术是以硅为基础的微机

    📙 相关资料

    1. 《浅谈汽车传感器》PDF+DOC 本文介绍了汽车传感器技术的发展现状，并根据全球汽车工业呈现持续增长趋势进行了汽车传感器市场的预测。...
    2. 《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC 微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。...
    3. 《硅集成真空度传感器和加速度传感器的研究》PDF+DOC 硅集成传感器是目前几年传感器方面发展一个重要趋势.传感器和信息处理可集成在同一芯片上，提高了传感器的灵敏度、信噪比，可靠性，容易实现批量生产，小型化、成本低、而且可直接与控制系统相接、应用方便.利用半导体集成电路工艺手段，光刻技术、掺杂、名向异性、同性腐蚀，各种特殊敏感材料的沉积、涂敷等，形成硅的微......
    4. 《微机械电容式加速度传感器信号电路设计》PDF+DOC 介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路，给出了在电路中所用的电子元器件，同时进行分析，得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。实验结果表明，该电路的线性高，测量差分电容变化的灵敏度好，是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。...
    5. 《电容式加速度传感器结构的计算机仿真》PDF+DOC 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理，应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模，并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态，1g加速度下的挠度，以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率，得到了最优的双梁结构，并在试验中得到验证，最终研制出了高水平的......
    6. 《基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究》PDF+DOC 论证了一种基于SOI(Silicon On Insulator)片上工艺的，通过光强差分测量加速度的微光机电系统(MOEMS)加速度计。器件主要结构为较大悬浮质量块对称两端加工出两面V型反射镜。系统整个微机械结构在细直弹性梁支撑下，因受惯性力作用V型镜发生位移改变，从而将引入系统中的光信号进行差分反......
    7. 《微机械加速度计内部噪声影响的对比分析》PDF+DOC 以一种新型的梳状栅电容结构微机械加速度计为研究对象，对比分析机械热噪声和量子噪声对其检测精度的影响。研究结果表明，当微机械加速度传感器的结构尺寸接近纳米尺度时，在一定的温度条件下，量子噪声取代了机械热噪声成为影响加速度传感器自身噪声性能的主要因素，且量子噪声等效加速度大于机械热噪声等效加速度的温度临......
    8. 《谐振式微加速度计差频检测电路研究》PDF+DOC 微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰，在传输和处理过程中也不易出现误差。针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器，采用静电激励和电容拾振的检测方式，设计了电容拾振检测电路和差频输出电路，实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测。利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试，实验室测......
    9. 《微机械双轴电容式加速度传感器设计》PDF+DOC 设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器，其具有4个水平检测单元，X、Y轴向的检测单元各有两组，且水平对称，有效地消除了轴间的交叉干扰；结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确。该加速度敏感质量块的大小为3 250μm&#215；3 250μm......
    10. 《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC 随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大，各种类型的微机械加速度计层出不穷，其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高，其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式，以及近年来成为研究热点的光学式加速度计。本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。