作者:樊尚春,李明明,宋治生 单位:中国航空学会;北京航空航天大学 出版:《航空学报》1999年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHKXB904.0170 DOC编号:DOCHKXB904.0179 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC1999年第01期 樊尚春,刘广玉 《微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模》PDF+DOC2014年第03期 杨朔,邢维巍 《新型光纤环敏感元件的研究及应用实例》PDF+DOC2001年第01期 刘月明,刘君华,张少君 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2000年第05期 樊尚春,刘广玉 《光纤耦合谐振式压力传感器》PDF+DOC1989年第03期 王玉田,史锦珊 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC2005年第02期 樊尚春,肖志敏,张庆荣 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC2005年第05期 樊尚春,乔少杰 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2004年第05期 樊尚春 《电容式测压微传感器的特性分析》PDF+DOC2001年第04期 许金海,冯勇建,邓俊泳 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC2011年第12期 李晶,樊尚春,李成,余朝发
  • 对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁,以硅梁作为二次敏感元件,间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合,提高振子的Q值,采用有限元仿真分析的方法,优化敏感边界结构参数。

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