《高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用》PDF+DOC
作者:徐毓龙,徐玉成
单位:中国电子学会;中国信息产业商会
出版:《电子商务》1999年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZKJ1999110070
DOC编号:DOCDZKJ1999110079
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简要介绍碳化硅的性质、制备、加工技术和它在恶劣环境下的微机电系统中的应用。
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