《微电子机械系统和流体流动》PDF+DOC
作者:
单位:中国科学院力学研究所;中国力学学会
出版:《力学进展》1998年第02期
页数:16页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFLXJZ802.0080
DOC编号:DOCLXJZ802.0089
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出现于80年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器.这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域.另一方面,由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大,在流体流经这些微小机械器件时,表面效应占据了主导地位.为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项.由于它们非常小,气体流动具有很大的Knudsen数,所以边界条件也应加以修正.总之,微电子机械系统(MEMS)不但是一项实用技术,也为流动机理的基础研究提出了许多挑战.
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