作者：李丹丹,梁庭,李赛男,姚宗,熊继军 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016050030 DOC编号：DOCYBJS2016050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了压力敏感芯片。根据芯片实际情况，分析了传感器制备过程的关键工艺参数及其影响。同时采用5 V恒压源供电，在相同情况下，增加kulite压力传感器背靠背测量不同气压下的输出电压值并比较。测量结果表明，所制备的SOI压力传感器线性度达到0.99%，重复性高达0.35%，迟滞性为0.1%，有望用到实际工程应用中。

    📙 相关资料

    1. 《微型双模式耐蚀压力传感器设计及特性分析(英文)》PDF+DOC 本文提出一种微型双模式耐蚀压力传感器设计并分析其测试特性，能够实现静态力和瞬时力的同步测量。该传感器由基于低温共烧陶瓷的压阻测量单元和基于硅橡胶的电容测量单元构成。并由压阻测量单元实现静态力的测量，电容测量单元实现瞬时力的测量。文中分别计算了压阻测量单元和电容测量单元的数学分析模型，并通过有限元仿真......
    2. 《硅压阻式气压高度计的设计与实现》PDF+DOC 采用硅压阻式压力传感器，以ATmega88PA为控制器设计了气压高度计。内嵌全温度范围的曲面拟合算法进行温度补偿及线性化处理，解决了压力传感器的温漂和非线性问题，并用海拔高度与气压的关系计算高度。测量结果通过RS-485接口发送给上位机。测试结果表明，该气压高度计压力测量误差优于0.50‰，分辨率为......
    3. 《基于LabVIEW设计的建筑压阻式压力传感器校准系统的设计与实现》PDF+DOC 在传感器设计过程中压阻式压力传感器存在的主要问题是温度飘移和非线性问题，这种问题影响传感器性能的发挥，所以必须对传感器实施性能补偿，弥补测量误差。本文主要通过设计一种LabVIEW压阻式压力传感器校准系统来完善感器校准功能，利用软件设置和硬件设计，并通过反复的实验证明校准装置的精确度和稳定性，以便设......
    4. 《压阻式微型动态压力传感器的灵敏度温度补偿》PDF+DOC 压阻式压力传感器具有灵敏度高，体积小，使用频带宽，结构简单等特点。但也存在着受溫度影响大，需进行溫度补偿的问題。灵敏度温度补偿是其中重要的一项。补偿方法主要有以下几种： 恒流源补偿依靠电源对电流的稳定性，使传感器工作电流不受温度影响，理论上可消除温度对灵敏度的影响。当采用恒压源供电时，通常在电桥的电......
    5. 《绝缘体上硅高温压力传感器研究》PDF+DOC 采用有限元分析工具ANSYS完成了一种矩形弹性膜绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器的优化设计，制作出样品，并与相同结构、工艺的多晶硅压力传感器进行了对比测试.结果表明：1∶2的膜片宽长比可以使SOI压力传感器的灵敏度达到220mV/MPa，远大于多晶硅压力传感器的灵敏度(约50mV/MPa).此外，......
    6. 《压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量》PDF+DOC 阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率，刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间，背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。...
    7. 《压力传感器零点漂移的解决方法浅析》PDF+DOC 压力变送器在工业现场是重要的检测传送装置，而基于扩散硅的压力传感器由于自身的精度高、灵敏度高、稳定性好、线性度优良、反应迅速、迟滞性小等特性优势，以及价格低廉等市场优势，使其在近30年中得以快速发展，并广泛应用于工业冶金、航空航天等众多领域。目前多数压力变送器的研发者倾向于利用压阻式扩散硅压力传感器......
    8. 《高精度硅压阻式气压传感器系统设计》PDF+DOC 为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响，大幅提升硅压阻式传感器的测量精度，将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起，通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中，对传感器进行线性标定和测试。结果显示：在-45~45℃环境下，600~1 100 h Pa量程内气压传感器的测量误差小于0.3 h......
    9. 《新型高度表与发动机检测仪》PDF+DOC 美国IDC公司研制的41707型高度表最近通过了TSO的鉴定。该设备十分精确，三英寸仪表用来指示由中心大气数据计算机计算过的高度，或者指示出其本身静压力传感器来的气压高度。该装置能以两种方式指示出-10000～53000英尺之间的任一高度。大气压力可以用毫巴表示，也可以用水银柱英寸来表示，分别显示在......
    10. 《一体化气压测试系统的设计》PDF+DOC 采用硅压阻式绝压型压力传感器SM5420、精密传感信号调理器MAX1452和微处理器C8051F410，共同构成一体化气压测试系统。利用串口通信模块将被测气压值一路通过LCD液晶显示屏显示，另一路通过RS232通信接口发送给上位机。实现了被测气压实时准确读取和分析处理的功能。通过标准压力泵对其进行静......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。