复床出水的电导率一般小于10～15μS/cm，而杂质钠离子，会引起复床出水电导率高。为了进一步提高水质，故在复床之后，设置一个氢型阳离子交换器，以便彻底除去复床出水中的Na^＋，其反应如下：

RH＋Na=^＋RNa＋H^＋

这个氢型阳离子交换器即称为氢离子精处理。它的特点是：①出水的电导率可以接近于纯水电导率的理论值（0.04μS/cm，18℃）；②可以代替混合床，省去混合床树脂分层的复杂操作步骤；③工艺简单，投资少，占地面积小；④出水电导率一直非常稳定。但当阴床泄漏SiO₂时，氢离子精处理装置的出水电导率会急剧上升，因此，可以用它来预测阴床SiO₂的泄漏，作为硅根表的代用品。目前工业上用硅根表相当昂贵，维修及保养困难，且不能很快得到分析结果，而氢离子精处理出水电导率却反馈十分迅速，检测很方便。