作者： 单位：信息产业部电子科学技术情报研究所 出版：《电子科技文摘》1999年第12期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKWZ1999120460 DOC编号：DOCDKWZ1999120469 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • IEEE 第12届国际微电子机械系统会议于1999年1月17日至21日在美国佛罗里达州的奥兰多举行。本会议录收录了会上发表的论文摘要113篇，内容主要涉及激励器，AFM 和数据存储，惯性传感器，物理传感器，流体测量与控制，喷咀与流体的控制，材料与制造，聚合物微电子机械系统，3维制造，封装，键合和连接器，测量，建模和模拟，光学器件，微型反应器以及生物应用等方面。

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