作者： 单位：信息产业部电子科学技术情报研究所 出版：《电子科技文摘》2001年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKWZ2001030470 DOC编号：DOCDKWZ2001030479 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • Y2000-62522 01038132000年 IEEE 13届微电子机械系统会议录=2000IEEE 13th annual international conference on Micro elec-tro mechanical systems[会，英]/IEEE Robotics and Au-tomation Society.—IEEE，2000.—810P.(EC)本会议录收集了于2000年1月23～27日在日本Miyazaki 召开的微电子机械系统会议上发表的138篇论文，内容涉及智能 CMOS 传感器，MEMS 商业化，静电传动装置，压电传动装置，射流技术，传感器，应用MEMS 电路库设计 CMOS 微机械带通滤波器，粘接与封装，离子蚀刻，硅氮化物谐振器失效机理。

    📙 相关资料

    1. 《数字带通滤波器的振动传感器灵敏度校验系统设计及应用》PDF+DOC 针对冶金设备运行环境恶劣需要，设计了中心频率为校准源的振动频率(159.2 Hz)，-3 dB带宽&#177；10 Hz的切比雪夫Ⅰ型ⅡR数字带通滤波器，滤除传感器输出振动信号中的干扰分量提高传感器在线检测的准确性。经仿真验证完成后，采用LabVIEW开发了成套软件，在工程中投入应用并达到预......
    2. 《微电子机械系统的进展与应用前景》PDF+DOC 本文论述了MEMS的研究进展、设计思想、主要加工技术及应用前景...
    3. 《日本微电子机械系统研究现状》PDF+DOC 介绍了日本微电子机械系统的发展现状。分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势...
    4. 《微电子机械系统在硅谷的发展及其对压力传感器技术的影响》PDF+DOC 现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力，即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械压力传感器.传感器，尤其是压力传感器主要用作临界状态监测，确定传感器的可行性.因此，传感器通常有一种重要的平衡因素，即传感器本身生产......
    5. 《发展中的传感器技术》PDF+DOC 本文从微电子机械系统、工业过程自动控制、新的功能材料及传感器集成化、小型化等方面着重阐述了国际传惑器技术的发展趋势，对今后我国传感器技术的发展有指导意义。...
    6. 《微电子机械系统》PDF+DOC 本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。...
    7. 《微电子机械系统的研究现状》PDF+DOC 在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域，本文简述了微电子机械系统的研究现状及其基础技术。...
    8. 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC 介绍了MEMS器件的发展历史 ，国内外研究和应用现状 ，对国内外差距进行了比较 ，给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ，提出了推进MEMS器件产业化的建议...
    9. 《国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用》PDF+DOC 概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ，重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。...
    10. 《“轻薄未来”智能超微机器人无处不在》PDF+DOC 近几年来，出现了超微细电路加工与纳米技术。它将驱动器和传动装置、传感器、控制器、电源集成于几立方毫微米的多晶硅片上，因而获得了完备的机电信一体化的微机械电子系统，并且正向昆虫式微型机器发展。正如美国麻省理工学院教授罗德尼&#183；布鲁克斯所说，“之所以确立这一长期远大的目标，是因为昆虫在现......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。