《微流量测量与控制系统》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《微流体控制系统研究及其应用前景》PDF+DOC 微流体控制系统是随着微机电系统的发展而迅速发展起来的研究领域。详细介绍了微流体控制系统的组成及其各元件的种类、研究发展历程，描述了系统的应用前景以及国内外在该领域的研究状况，提出了重视该领域的研究与应用已迫在眉睫。...
2. 《基于硅结构的微流体控制系统》PDF+DOC 基于硅结构的微流体控制系统 (μFCs)是微机电系统 (MEMS)中的一个重要分支 ，可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状 ，同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。...
3. 《微流量测量方法及其技术的发展》PDF+DOC 归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋势，即集成两种或两种以上的测量方法，实现优势互补，提高测量精度或扩大量程比。最后基于现有的技术基础，提出了融合科氏效应与差压效应的微流量测量方法，阐述了传感器的工作原理与理论基......
4. 《微流量闭环控制系统的分析与研究》PDF+DOC 对微流量控制系统的组成、机理、国内外在该领域的研究状况以及系统的应用前景进行了简要介绍.而实现微流体的闭环控制是实现高精度试剂分配的重要发展趋势，鉴于压电泵在该领域的固有优势及缺陷，将微流量传感器与压电泵集成，进行流体的驱动、检测和控制一体化的设计，研制具有自检测与控制功能的高精度闭环控制微系统等方......
5. 《具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构》PDF+DOC 根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微......
6. 《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC 采用微电子技术和微机械加工技术 ，在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ，分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ，硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。...
7. 《一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作》PDF+DOC 根据微流量传感器测热式原理，利用Comsol多物理场模拟仿真软件，对微流量传感器进行模拟仿真，分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响.在此基础上，设计了一种集成在微流体管道内的微流量传感器.以离子束刻蚀方法制作微电极，SU-8负光刻胶直接制作流道，将该负光刻胶与聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行键合......
8. 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm&#215；5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作，可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器，从......
9. 《基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用》PDF+DOC 传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点，而且微流体与宏观流体流动特性不同，所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展，硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一。按其用途进行了分类，着重介绍了流体压......
10. 《非热式微流量传感器》PDF+DOC 基于微机械加工技术的微流量传感器是微传感器中重要的一种，目前，对微流体测量的研究主要集中在对流体流量和流速的测量上，按照测量方式的不同，微流量传感器可分为加热式和非加热式两种。本文概述了可以用来实现非热式微流量传感器的物理原理，并以此分类，综述了已有的非热式微流量传感器，对它们的优缺点进行了分析。通......