作者：席文柱,闫卫平,马灵芝,牛德芳 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004030210 DOC编号：DOCCGJS2004030219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用微电子技术和微机械加工技术 ，在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ，分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ，硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。

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