作者:冯金垣,越泽庭,黎达宇,杨日福 单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版:《光学技术》1998年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJS804.0110 DOC编号:DOCGXJS804.0119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文研究了用汽相沉积法制备SnO2气敏薄膜和SnO2膜的光谱透过率气敏特性。用汽相沉积制备SnO2的方法是利用一个密封的石英管系统,把SnCl4溶液置于系统内,氧气通人系统,然后系统升温使SnCl4气化,通过控制氧气流量、沉积温度和沉积时间等,使气化后的Sn原子与氧原子在一定条件下生成SnO2,沉积在玻璃衬底上。本文用AS-430S俄歇式电子能谱仪测试膜片的主要成分,并用光栅单色仪测试了膜片在乙醇还原性气体中的气敏特性。实验结果表明:与热喷法制备的SnO2膜比较,沉积法具有工艺重复性好,可以控制沉积膜的厚度,灵敏度高等优点。因此,可制备出有选择性的“气敏-光透过率”型气敏传感器。

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