《微机电系统及其测量问题》PDF+DOC

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2. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
3. 《微机电系统技术的实际应用——微型仪器》PDF+DOC 微机电系统被普遍认为是一项面向 2 1世纪的可以广泛应用的新兴技术 ，作为其实际应用的微型仪器 ，具有传统仪器无可比拟的优势。从微型仪器入手 ，分别介绍了其概念、特点和市场应用 ，并在最后阐述了对微型仪器的几点认识。...
4. 《微系统及其商品化》PDF+DOC 讨论了微系统的命名法并把它扩至包括自然微系统。以物理法则是否变化为判据重新定义了微系统。阐明了微系统与微电子、宏系统、纳米系统三者的联系与区别。考察了国外微系统在领域医疗、信息、汽车工程、自动化、环境与安全、日常生活 6个领域的典型商品 ，分析了国际微系统商品化态势 ，找出了商品化中的技术制高点和突......
5. 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC 微机电系统是一个新兴的技术领域，是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号，并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号，而且还可以通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就ＭＥＭＳ技术的特点、分类、......
6. 《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC 详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ，阐明了其涉及的科学技术问题 ，对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。...
7. 《军事与装备动态》PDF+DOC NASA研究微米尺寸传感器美国航空航天局(NASA)先进概念研究所9月26日授予安斯科公司一项价值50万美元的合同，继续研究能够测量大气中飘浮粒子(如蒲公英籽大小飘浮物)的微米尺寸传感器。大气微型传感器概念基于微机电系统和纳米技术，属于NASA正在进行的“全球环境微机电传感器系统”计划的一部分。这些......
8. 《基于微光机电系统的微感知技术》PDF+DOC 微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术，在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一。由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点，未来在国防军工、精密仪器、特殊工业，以及环境检测等领域将有广泛的应用前景。首先描述了微感知技术的技术特......
9. 《基于MEMS技术的汽车传感器研究进展》PDF+DOC 随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入，基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述，并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感器，最后对MEMS汽车传感器今后的发展进行了探讨。...
10. 《硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理》PDF+DOC 为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题，并改善其可靠性和动态响应，提出在传感器原有结构上增加辅助传感器，构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值，可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制；可及时判断闭环系统失效；可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。......