作者：李国厚,白林峰 单位：中国计算机用户协会自动控制分会;中国计算机用户协会山西分会 出版：《微计算机信息》2003年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWJSJ2003090000 DOC编号：DOCWJSJ2003090009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC2004年第01期 沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微米纳米器件与材料专题述评》PDF+DOC2016年第05期 庞慰 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微机电系统发展及其应用》PDF+DOC2003年第S2期 孟兴菊,石梅生 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC2003年第07期 闫利文 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东 《微机电系统的进展分析与研究》PDF+DOC2002年第01期 刘晓斌 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚

    • 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。

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