作者：沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004010430 DOC编号：DOCCGJS2004010439 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ，阐明了其涉及的科学技术问题 ，对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。

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