《电容式硅微加速度传感器的研究》PDF+DOC
作者:洪连进
单位:哈尔滨理工大学
出版:《电机与控制学报》1997年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDJKZ704.0110
DOC编号:DOCDJKZ704.0119
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本文分析了新型电容式加速度传感器,评价了其非线性;提出了将静电激振法用于该传感器的可能性,并给出了在静电力作用下可动系统(悬臂梁)弯曲的分析方法及临界电压的确定方法。
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