作者：陈佳品,吴智政,程君实 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1997年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS701.0080 DOC编号：DOCYBJS701.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法，然后提出一种静电力反馈平衡控制电路，先通过高频调制信号产生检测电压，再经过ＰＩ反馈控制器产生静电反馈力，以提高传感器的噪声抑制能力、输出线性度和动态响应范围

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