作者：李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001010200 DOC编号：DOCCGQJ2001010209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ，它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn，线性度为 10 -4 量级

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