作者： 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》1996年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA1996010640 DOC编号：DOCZGGA1996010649 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • TN366 96010483集成硅微机械光压力传感器=Integrated micro—mechanical silicon optical pressure sensor[刊，中]/温志渝，费龙(重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室，重庆大学)∥半导体光电。—1995，16(3)。—245—247介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是

    📙 相关资料

    1. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    2. 《油井综合测试仪的原理及研制》PDF+DOC 介绍了油井综合测试仪的基本工作原理和系统组合，还就系统中所涉及的位移传感器、压力传感器、声波传感器等的测量原理作了简要介绍，阐述了硬件设计的主要特点，给出了主要技术指标和实验结果。...
    3. 《集成硅微机械光压力传感器》PDF+DOC 介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是利用半导体集成电路微细加工技术和各向异性腐蚀相结合的方法，将传输、获取信息的光波导，敏感弹性硅膜和光电探测器集成在一块三维硅基片上得到的。它具有灵敏度高、抗干扰能力强、自身无需电源、防爆、成本低和可靠性高等优点。...
    4. 《电感调频式传感器及其应用》PDF+DOC 介绍电感调频式传感器的工作原理、技术特点、主要性能及其在各种领域里的应用。...
    5. 《力敏传感器》PDF+DOC 本文概述了力敏传感器的分类。着重介绍了压力传感器、应变片、转矩传感器、声传感器、旋转传感器、振动加速度传感器、以及位置和位移传感器等各种典型结构、工作原理、性能特点和主要用途。...
    6. 《硅集成真空度传感器和加速度传感器的研究》PDF+DOC 硅集成传感器是目前几年传感器方面发展一个重要趋势.传感器和信息处理可集成在同一芯片上，提高了传感器的灵敏度、信噪比，可靠性，容易实现批量生产，小型化、成本低、而且可直接与控制系统相接、应用方便.利用半导体集成电路工艺手段，光刻技术、掺杂、名向异性、同性腐蚀，各种特殊敏感材料的沉积、涂敷等，形成硅的微......
    7. 《国外电容式集成压力传感器简介》PDF+DOC 本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级，更重要的是降低了温度灵敏度，减少了温度漂移。...
    8. 《采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计》PDF+DOC 随着波导材料的研究和进展，作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器，该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述，对它的工艺流程作了详细的描述。...
    9. 《电阻应变式传感器的工作原理及应用》PDF+DOC 本文阐述了应变效应、电阻应变式传感器工作原理及其应用。...
    10. 《《传感器世界》(2010年第16卷第1-12期总第175-186期)总目录》PDF+DOC ~~...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。