作者：史青,张晓卫,金懋昌 单位：电子科技大学 出版：《电子科技大学学报》1997年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKDX704.0100 DOC编号：DOCDKDX704.0109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 论述了氧化铝薄膜电容湿度传感器的性能，提出了采用α－Ａｌ２Ｏ３薄膜作湿敏层的新型氧化铝薄膜湿度传感器，简述了该湿敏元件的制备方法和基本特性。最后讨论了目前尚存在的问题。

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