作者:大舟 单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版:《光机电信息》1997年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGJDX1997010100 DOC编号:DOCGJDX1997010109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 压电晶体当施加电压时,则在纳米范围产生延伸,并因此构成极其精密的定位基础。然而,它的缺点是行程有限,最多只不过几微米。如果人们想在毫米范围定位,则必须外加

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