作者：陈锦杜 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB6S1.0380 DOC编号：DOCYQXB6S1.0389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发展微型惯性器件。

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