作者：庞慰 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2016年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2016050150 DOC编号：DOCNMJM2016050159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 半导体产业发展的初期(20世纪60年代)，人们发现微米级别的元器件不但体积小，而且表现出比宏观尺寸器件更优良的电学和机械性能。这种新奇的现象引起了当时业界的兴趣，随后微米技术及其理念很快进入了半导体以外领域，与机械等传统学科相结合，产生了新的研究方向即微机电系统(MEMS)。在其发展初期，大批量的MEMS器件被应用在汽车行业，在安全气囊传感控制中迅速取得了成功。而后MEMS传感器

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