《厚度可控单晶硅膜制造技术研究》PDF+DOC
作者:文谦
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》1996年第02期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ1996020020
DOC编号:DOCCGSJ1996020029
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机械部“八五”攻关项目—厚度可控单晶硅膜制造技术研究,由上海冶金所历经4年时间,于1995年10月通过了机械部和中科院鉴定,专家们认为,该课题组独创性地工作,提出的改良型电化学腐蚀自终止方法,具有自己特色,达到国际先进水平。
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