作者：黄特伟,吴启民 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1994年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1994040010 DOC编号：DOCYQYB1994040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高温压力传感器温度特性的改善》PDF+DOC1997年第05期 姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新,张荣 《高精度扩散硅压力传感器的温度补偿》PDF+DOC1997年第04期 张秀珍,杨魁,马子龙 《GGY-2型高温光纤压力传感器研制成功》PDF+DOC1991年第04期 凯凌 《高温光纤压力传感器》PDF+DOC1990年第01期 吴志鹤,经亚枝,朱俊,毕训银 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC1988年第05期 T.Ishara,杨正中 《多晶硅高温压力传感器的芯片内温度补偿》PDF+DOC2004年第01期 庞科,张生才,姚素英,张为 《高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术》PDF+DOC2002年第02期 曲宏伟,姚素英,张生才,赵毅强,张为 《电容式固态压力传感器》PDF+DOC1988年第02期 白韶红 《硅压力传感器的应力隔离封装》PDF+DOC1987年第Z1期 李东研,Per.A.Ohlckers,C.D.Fung,W.H.Ko 《“GGY”-1型高温光纤压力传感器”研制成功》PDF+DOC1988年第S1期 金翠堤

    • 1 前言 许多部门需要精度高、稳定性好，且使用温度高的压力传感器，用于测高温(≥150℃)流体的压力(≥10MPa)。例如：测航空发动机的气流压力。 常用的传感器弹性元件材料为3J53恒弹性合金，但该合金恒弹性温度范围为-55-+80℃。所以，超过80℃其弹模温度系数大，以致传感器性能稳定性不好。而且铌基弹性合金属高温恒弹性材料，而且耐

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