作者:张寿远,李斌,郑学仁,刘百勇,关培勋 单位:华南理工大学 出版:《华南理工大学学报(自然科学版)》1995年第12期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHNLG1995120020 DOC编号:DOCHNLG1995120029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《背面敏感SRSF传感器的研究》PDF+DOC1995年第12期 郑继雄,刘百勇,郑学仁,李斌,关培勋 《微小流量传感器的数值模拟》PDF+DOC1993年第01期 沈克强,童勤义 《全集成式流量传感器》PDF+DOC1987年第Z1期 黄金彪,童勤义,陈德英,刘方悟,方家云,李斌,周明 《CMOS流量传感器中传热特性的计算与分析》PDF+DOC1987年第04期 黄金彪,童勤义,孙晓武,李斌 《CMOS集成硅流量传感器》PDF+DOC1987年第01期 童勤义,黄金彪 《硅热流量传感器的研究与发展》PDF+DOC2001年第01期 张昭勇,秦明,黄庆安 《线性输出的气体粘滞力式流量传感器》PDF+DOC1997年第05期 许新,王子延,袁伟峰 《集成微形流量控制系统(特邀报告)》PDF+DOC1990年第03期 孙国梁 ,MasgyoshiEsashi 《Peltier流量传感器研究》PDF+DOC2003年第04期 孙广清,王磊,张志明 《精品推介》PDF+DOC2007年第12期
  • 提出了一种新型集成扩展电阻硅流量(SRSF)传感器。此结构的工作原理是基于热传导原理,即当流体流过加热芯片时,芯片两端的温差可以用于测量流体的速度。由于应用硅扩展电阻作温度敏感元,故SRSF传感器适用于测量温度较高的流体。理论分析和实验研究结果表明,SRSF传感器具有如下特点:小流量时(v0<1m/s)灵敏度较高;有方向敏特性;与标准IC工艺兼容,可制成集成化流量传感器。

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