《利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度》PDF+DOC
作者:费龙,钟先信,温志渝,高杨
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1995年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1995040140
DOC编号:DOCCGJS1995040149
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为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以
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