作者：温志渝,钟先信,孙晓松,黄友恕 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1995年第S1期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB5S1.0720 DOC编号：DOCYQXB5S1.0729 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺，讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组合式列阵传感器初步应用于声光探测的实验系统中，获得了较满意的结果。

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