作者：汪超男,李爱玲,周有铮,王喆壵,刘理天 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》2009年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB2009110330 DOC编号：DOCQHXB2009110339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法，建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合，分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型，在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算，结合压阻系数，分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明：为获得较高灵敏度，n型硅压阻应做长，p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。

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