作者：王跃林,徐义刚,陈锋,胡鑫松 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1994年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU408.0060 DOC编号：DOCDZXU408.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC1995年第01期 费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 《一种提高抗过载能力的圆片级真空封装》PDF+DOC2018年第11期 赵永祺,石云波,赵思晗,焦静静,李飞,王彦林 《微电子机械系统和片式系统》PDF+DOC1999年第03期 王祁,王劲松,迟晓珠 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC1996年第04期 陈宏,沈绍群,鲍敏杭 《声表面波加速度计》PDF+DOC1990年第05期 周绍明 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC2001年第01期 李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 《双E型硅加速度传感器的研制》PDF+DOC2001年第04期 唐世洪,张克梅 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC2010年第20期 南昊,田露 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC2010年第06期 苏赋文 《侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC2008年第03期 董健

    • 本文介绍了一种新结构的硅一体化微加速度传感器，理论和实验结果表明，这种传感器与传统硅微机械结构加速度传感器相比具有温度特性好、工艺简单和成品率高等优点。这种结构特别适合制作谐振传感器。

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