作者:虎刚,董光能,谢友柏 单位:中国科学院兰州化学物理研究所 出版:《摩擦学学报》1995年第04期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFMCXX504.0100 DOC编号:DOCMCXX504.0109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SiC薄膜热敏电阻器及温度传感器》PDF+DOC1989年第04期 田民波,王英华,汤海鹏 《射频溅射制取SiC薄膜》PDF+DOC1989年第06期 田民波,王英华,汤海鹏 《内燃机活塞表面瞬态温度传感器的研制》PDF+DOC2015年第09期 崔云先,赵家慧,刘友,丁万昱,盛晓幸,宫刻 《一种耐高温高灵敏柔性碳化硅基温度传感器及制作方法》PDF+DOC2019年第06期 《基于双原理的热流量传感器的研究》PDF+DOC2000年第04期 尚丽平,郑德忠,谢华冰,余思源 《铜膜温度传感器的研制》PDF+DOC1988年第03期 刘宝城 《镍薄膜温度传感器》PDF+DOC1989年第02期 周鸿仁,刘秀蓉,恽正中 《关于镍薄膜热电阻研制的几个问题》PDF+DOC2002年第01期 周金芳,梁素珍 《表面等离子共振Ag-SnO_2薄膜光化学气体传感器》PDF+DOC2007年第01期 符运良,袁一方,傅军,李天略 《磁控溅射制备镍薄膜热阻温度传感器工艺研究》PDF+DOC2006年第06期 张以忱,张健,巴德纯
  • 以射频溅射法分别溅射沉积的Al2O3和MgO复合层作为绝缘膜,以真空蒸镀的钛膜作为温度敏感膜和以溅射Al2O3膜作为保护膜,研制成功了一种宽度为15μm的薄膜温度传感器.测试结果表明,复合层绝缘膜的绝缘性能明显地比Al2O3绝缘膜的好,经过同样的热处理后,前者能够保持其20MΩ以上的电阻基本不变,而后者则由20MΩ以上降低到1kΩ以下.在给定的试验条件下,这种传感器对温度及作用时间的信号响应敏感,而且重复性也相当好,可以用于测量工程实际中机械零部件接触润滑摩擦表面的瞬时温升.

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。