作者：温明生,唐世洪,刘理天,谢会开 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1995年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1995010040 DOC编号：DOCCGJS1995010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器，利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。

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