作者:汪宝宁 单位:上海航天技术研究院 出版:《上海航天(中英文)》1994年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSHHT403.0070 DOC编号:DOCSHHT403.0079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《微机械加工技术发展概况(一)》PDF+DOC1998年第05期 鲍敏杭 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC1999年第03期 李立杰 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力 《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC2002年第03期 吴雄 《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC2001年第01期 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中 《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC2009年第02期 王伟,温廷敦 《压阻式微压力传感器结构参数设计》PDF+DOC2013年第03期 王峰,谭晓兰,张敏亮
  • 简要介绍微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用,着重介绍微压力传感器、微加速度计和微机械惯性测量组合的工作原理,给出了结构简图,最后给出诺思罗普公司的微机械惯性测量组合中陀螺和加速度计的技术指标。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。