《用浸渍法制造的添加Pt的SnO_(2-x)薄膜气体传感器特性》PDF+DOC

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3. 《Pt薄膜平面热线型NH_3敏元件》PDF+DOC 本文介绍了铂薄膜平面热线型氨传感器.它是利用高频溅射在硅片上制作铂膜电阻，然后涂以气敏涂料，600℃下烧结90分钟而制成的NH_3敏元件.同时讨论了几种元素对元件灵敏度及选择性的影响，发现以SnO_2为基体材料加入少量的Au对氨气有较高的灵敏度，以WO_3为主体材料加少量钒酸盐的保护层，对元件的选择......
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