作者：W.pshlke ,H.Potter 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994080080 DOC编号：DOCGJDX1994080089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微系统工程往往被看作为大工业的一种工艺，因为目前已有的实验室样机发展为市场上有竞争能力的产品，还需要投入特别高的研究与开发经费。然而，目前集成传感器技术的部分领域，已为中小企业提供了许多机会。本篇报告指出，微技术传感器的市场何在：这些传感器必须提供何种产品的特性；

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