作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994110000 DOC编号：DOCGJDX1994110009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 近年来发达国家对微系统工程的研究与开发十分活跃。在高新技术领域开拓了一条崭新的道路。从世界范围来看，美国领先，德国随后，我国的研制工作也已起步。各国在这一领域的进展各有特色。现介绍一下德国在这方面的进展情况，以供参考。

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