作者：大舟 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994010040 DOC编号：DOCGJDX1994010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目前，微机械作为一项新工艺，还是处在开始发展的阶段，它将在本世纪对世界科技的发展产生重大的影响。现在，利用这项技术，以硅作为基质可制成简单的微型结构和多种传感器(例如，压力传感器，加速度传感器等)以及其它的致动器。并可以集成到微系统中。已有几种产品投入市场，并有

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