作者：邵培革,王立鼎,任延同 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1999年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM901.0010 DOC编号：DOCGXJM901.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。

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